MEMO クリーンルーム
HEPA High Efficiency Paticulate Air Filter 0.3μm粒子を99.97%以上捕集
http://ja.wikipedia.org/wiki/HEPA
ULPA
http://ja.wikipedia.org/wiki/ULPA Ultra Low Penetration Air Filter 0.15μm粒子を99.9995%以上捕集
HEPA High Efficiency Paticulate Air Filter 0.3μm粒子を99.97%以上捕集
http://ja.wikipedia.org/wiki/HEPA
ULPA
http://ja.wikipedia.org/wiki/ULPA Ultra Low Penetration Air Filter 0.15μm粒子を99.9995%以上捕集